廠務工程及設備
CDS供酸系統、CCB化學供應系統、VMB/P、化學品純化系統、氣體純化系統、混氣系統、Gas VMB/P、現場配管SUS、PFA、PVDF、PVC…等材質的管路設計監造及施工、無塵室設計、FFU及MAU
製程設備工程
蝕刻、薄膜(CVD、PVD)及離子植入…等製程設備Gas Line 氣體管路及盤面焊接、組裝；真空管路及盤面焊接、組裝；無塵取樣閥箱客製設計；Wet設備PFA管路及盤面焊接、組裝
工程實績
- 精材科技 – 水、氣、化管路配管
- 昇陽半導體 – 供酸設備
- 力積電 – VMB/P
- 交大電子所 – CVD設備特殊氣體管路銜接廠務系統
- 台大化工系 – IPA取樣箱體管路及箱體內氣體管路
- 聯合再生能源 – 設備端內部氣體管路修改
- 友達 – OLED設備內部氣體管路
- 南茂 – 混和氣體VMB/P、二次配
- 中美矽晶 – 大宗氣體、特氣VMB/P、二次配
- 李長榮化工 – 實驗室內化學液體過濾系統
- 京瀚科技 – CVD設備Gas Line管路製作
