Entegris AMC 濾網的特點：

• 高效過濾性能：能捕捉極微量的化學污染物，保護關鍵製程。
• 多層過濾技術：結合多種過濾材料，可針對不同類型的分子污染物進行選擇性過濾。
• 持續保護：提供長期穩定的污染物控制，確保產品和設備在高純度環境下運作。
• 應用範圍廣泛：適用於半導體、LED、光學器件等對環境控制要求極高的製造行業。

Entegris 作為業界領先的材料控制方案供應商，其 AMC 過濾技術致力於保障關鍵製程的穩定性和效率，有助於提高產品良率，減少污染風險。

常見的 AMC 濾網系列：
● VaporSorb™ 系列
VaporSorb™ G：針對酸性和鹼性氣體的過濾，有效控制HF、HCl、NH₃等氣體。
VaporSorb™ P：針對有機氣體（如揮發性有機化合物，VOC）以及其他污染物。

● Cyllene™ 系列
用於處理揮發性有機化合物（VOC）和可凝結有機化合物（COC），適合光學和半導體行業。

● UniClean™ 系列
提供多層過濾技術，適合不同類型的化學污染物，如酸性、鹼性及有機污染物。

● Wafergard® 系列
為半導體製程專門設計的高效過濾器，能過濾特定化學氣體和微粒。

● IntelliGen® 系列
這個系列過濾器專注於半導體製程中的化學分子控制，用於保護光刻製程。