GateKeeper® GPU 系列淨化器專為提升製程氣體的一致性、使用壽命和出口純度而設計。

• 淨化純度可達 ppt 水準
• 支援廣泛的氣體相容性，包括具腐蝕性的氣體，如 Cl₂、HBr、HCl、CF₄、SO₂、SF₆
• 淨化器具有低壓降特性
• 通過 CE 認證，符合壓力設備指令（PED），並在 ISO 9001-2000 認證工廠製造
• 可再生使用，減少處理問題與成本
• 使用壽命長，提升擁有成本效益
• 適用於常溫淨化